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石墨舟和硅片哪個導電好,石墨舟為什么要飽和

時間:2023-06-13來源:www.zh-corad.com

石墨舟和硅片都具有較好的導電性能,但它們的應用場景和導電方式有所不同。石墨舟是一種用于工業(yè)煉制和加工的舟艇,由于石墨具有高導電性能,因此石墨舟在液態(tài)金屬中的導電性能較好。而硅片作為半導體材料,其導電方式則是通過控制半導體材料的摻雜和結構來實現。因此,雖然石墨舟和硅片都具有較好的導電性能,但它們的導電方式和應用場景有所不同。


石墨舟導電性能明顯優(yōu)于硅片的導電性能,因此石墨舟和硅片在鍍膜過程中存在著明顯的競爭,導致石墨舟與硅片接觸的區(qū)域沉積速率低,形成嚴重的色差,以致電池片外觀不良和電學性能較差,因而必須對石墨舟進行氮化硅飽和處理,使石墨舟與硅片具有相近的導電性。


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石墨舟為什么要飽和


舟的飽和程度足夠且內壁上沉積的氮化硅膜不是很厚,使得鍍膜的均勻性表現良好,是石墨舟的最佳狀態(tài)。而石墨舟使用后期,由于內壁上沉積的氮化硅很厚,會導致局部氮化硅膜脫落,引起舟的表面狀態(tài)發(fā)生變化,并且氮化硅膜很厚會引起舟的導熱性能發(fā)生變化,局部過厚會引起色差偏的產生。因此石墨舟飽和程度不夠和石墨舟使用次數太多都會使鍍膜的均勻性變差。


石墨舟使用次數太多會使內壁沉積過厚的氮化硅膜,就需要將石墨舟內壁表面的氮化硅膜洗掉,重新進行飽和工藝之后再運行工藝。隨著技術發(fā)展,工藝過程中對氮化硅膜厚度的要求越來越厚,以及設備功率越來越大,會增加洗舟次數,降低石墨舟的壽命。


為了提高鍍膜的均勻性,延長石墨舟的使用壽命,在石墨舟飽和工藝中采用先鍍一層SiC膜,然后再渡一層SiNx膜的處理方法,可以有效的降低色差片的比例,增加合格率。


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